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ブイ・テクノロジー、フォトマスク欠陥修正装置「Draco(ドラコ)」受注

2024/8/16 12:30 FISCO
*12:30JST ブイ・テクノロジー、フォトマスク欠陥修正装置「Draco(ドラコ)」受注 ブイ・テクノロジー<7717> フラットパネルディスプレイ(FPD)・フォトマスクの製造・検査装置を手掛ける。国内大手フォトマスクメーカーから、局所真空技術と収束イオンビームを用いた世界初のフォトマスク欠陥修正装置「Draco(ドラコ)」を受注したと発表した。修正位置精度の高さや微細加工性能などで高い評価を受けたとしている。受注額は開示していない。
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光配向膜露光装置などのFPD装置事業、半導体・フォトマスク装置事業を手掛ける。シリコンウェーハ用検査装置で高シェア。アグリビジネスも。子会社がアドバンスドパッケージ用テスター「LIBRA」の1号機を受注。 記:2024/11/26