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ジェイテックコーポレ---大幅反発、PAP装置の開発機受注を発表

2022/12/20 11:00 FISCO
*11:00JST ジェイテックコーポレ---大幅反発、PAP装置の開発機受注を発表 ジェイテックコーポレ<3446>は大幅反発。プラズマ援用研磨(PAP)装置の開発機を受注したと前日に発表している。PAPは大阪大学の独自研磨技術であり、次世代半導体材料であるSiCやGaN基板、さらには単結晶ダイヤモンド基板を高速かつ高精度に平坦化できるようになるもの。同社は11月に、大阪大学と同装置やプロセスに関するノウハウ供与契約を締結している。これまでも複数企業から引合いとされており、今後の展開への期待も膨らむ形に。 《ST》
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放射線施設やX線自由電子レーザー施設で使用する集光ミラーや高調波カットミラー、各種X線ミラーを設計、カスタムメイドする。今上期はメンテナンスや消耗品、部品が寄与も、オプティカル事業が足踏みとなった。 記:2024/02/14