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*14:26JST フェローテックホールディングス---半導体シリコンウェーハ再生事業の設備投資を決定 フェローテックホールディングス<6890>は15日、中国における半導体シリコンウェーハ再生サービス事業における設備投資について決議した。 2019年8月に、同社中国子会社の上海申和熱磁電子と銅陵市政府との共同出資で、半導体シリコンウェーハの再生サービス事業参入のための新会社、安徽富楽徳長江半導体材料股フンを安徽省銅陵市に設立しており、同社において第1期の設備投資を行うことを決定したという。 背景として、中国における再生ウェーハ需要が拡大基調にある一方で、事業者数が限られていることや半導体ウェーハ研磨技術や精密部品再生洗浄技術が再生ウェーハ事業に転用できること、クロスセルによる既存事業とのシナジーが期待できることなどが挙げられるという。また、再生ウェーハ事業のキー・プロセスである使用済ウェーハの被膜除去工程において、技術の確立の目途が立ったことも要因としている。 《SF》