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ジェイテックコーポレーション、プラズマ援用研磨(PAP)装置の受注を発表

2022/12/20 12:30 FISCO
*12:30JST ジェイテックコーポレーション、プラズマ援用研磨(PAP)装置の受注を発表 ジェイテックコーポレーション<3446> 放射光施設向けX線ナノ集光ミラー大手。19日大引け後、プラズマ援用研磨(PAP)装置を受注したと発表した。同社にはこれまで複数企業からの引き合いがあり、実用化開発を進めているが、今回第1号となるPAP装置の開発機を受注した。PAPは大阪大学の独自研磨技術で、次世代半導体材料であるSiCやGaN基板、単結晶ダイヤモンド基板を高速かつ高精度に平坦化できる。今後も独自の半導体向け加工・研磨技術及び装置の開発を推進し、量産化へと展開を図っていくようだ。
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高精度楕円集光ミラー等の製作・販売を行うオプティカル事業が主力。自動細胞培養装置、半導体加工装置・研磨装置等も。X線高精度ミラー「Osaka Mirror」は引き合い増。放射光施設等から大型受注獲得。 記:2024/06/24