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*12:43JST タツモ、第1四半期営業利益は上期計画を上振れ タツモ<6266> 前日に第1四半期決算を発表、営業利益は8.3億円で前年同期比2.1倍と急拡大し、上半期計画の7.2億円、同64.9％増を超過する水準となっている。プロセス機器事業における半導体装置部門において、台湾の後工程向け半導体製造装置の引渡しが完了したことで売上が大幅に拡大した。