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*13:47JST ウシオ電機、半導体製造向けエキシマ光照射ユニット開発 ウシオ電機<6925> 半導体製造プロセス向けに、高照度かつコンパクトなエキシマ光照射ユニットを開発したと発表している。従来の5倍の高照度となった一方、60％のダウンサイジングに成功したという。既存プロセスと組み合わせたデバイスの微細化・高集積化へ向けた技術革新も期待される。